《表1 三种热氧化方法比较》
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比较以上三种热氧化方法可知水汽氧化制作的二氧化硅膜的质量很差，干氧氧化制作的膜的质量最好，而研制的标准样片质量是第一位的，因此采用干氧氧化法制作二氧化硅膜厚样片。
| 图表编号 | XD0035649700 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.01.20 |
| 作者 | 赵琳、梁法国、韩志国、李锁印、付少辉 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
