《表1 几种热载荷数值表》

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《加热吸附平台表面翘曲问题研究》

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首先，建立一个热力分析算例，在加热板上安装加热管的位置施加140℃的温度热载荷；在零件所有裸露的外表面施加空气对流热载荷，对流系数为12 W/（m2·K）；在支撑座上用压缩空气进行冷却的位置上施加空气对流热载荷，对流系数为220 W/（m2·K）；几种热载荷数值如表1所示。通过有限元热力分析后，各零件温度如图4所示，具体数值如表2所示。