《表2 10次独立重复性测量数值统计结果》
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用编号为1（U值为0.3μm）的晶片对Proforma 300测试系统进行核查。首先用该校准样片在Proforma 300设备上进行10次重复测量，结果如表2所示。
| 图表编号 | XD0029968400 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.02.20 |
| 作者 | 王世援 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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