《表1 晶片的扩展不确定度值》

《表1 晶片的扩展不确定度值》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
本系列图表出处文件名:随高清版一同展现
《提高MEMS用超薄硅片厚度测量质量的研究》


  1. 获取 高清版本忘记账户?点击这里登录
  1. 下载图表忘记账户?点击这里登录

结合表1、2,计算Proforma 300测试系统的整体不确定度,结果如表3所示。