《表1 镜片结构参数:手持式激光诱导击穿光谱仪对铝合金中镁钛元素的定量分析》

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《手持式激光诱导击穿光谱仪对铝合金中镁钛元素的定量分析》


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手持式LIBS光路结构示意图如图1所示。其中,图1(a)为激发光光路结构示意图,激光透过二向色镜分划板(该分划板对1064nm激光透过率高达99.9%),经由球面反射镜组聚焦于待测物表面,球面反射镜组的设计增大了聚焦光束的数值孔径,极大地缩小了焦斑,从而提高了能量密度。图1(b)为待测物激发的信号光光路图。信号光经球面反射镜组原路返回至二向色镜分划板,分划板将信号光反射至抛物面镜(分划板对240~500nm信号光的平均反射率为80%),再由抛物面镜反射聚焦,最后将聚焦的信号光耦合至光纤。光纤可以连接不同类型的光谱仪,从而可以探测到不同波段范围的信号光。镜片结构参数如表1所示,ZEMAX仿真的光路光线追迹图如图2所示。用Gentec-EO激光能量计对手持式LIBS激发光进行能量测试,当激光器能量达到最大饱和状态时,200次激发脉冲能量的平均值高达8.58mJ。同时,这种光路能够有效消除位置色差和倍率色差,避免了因信号光波长不同所导致的焦点位置差异,并且使整个光路更为紧凑。