《表1 不同控制器性能对比Tab.1 Performance comparison of different controllers》

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《拼接镜面望远镜位移促动器系统的自抗扰控制》

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试验采用的电容式传感器测量噪声有效值为5.8 nm。仿真时，在系统中加入均值为0，方差为0.000 4的随机信号来模拟传感器的量测噪声。输入幅值为10μm的阶跃信号。由图5和表1可知，改进型ADRC和ADRC的动态性能优于PID控制器，且改进型ADRC系统具有更高的稳态精度。