《表2 计算光舱工况的返流沉积率和实验结果的对比》

《表2 计算光舱工况的返流沉积率和实验结果的对比》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《防溅射靶对离子推力器背溅射沉积污染的影响》


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实验时环境背压为8.1×10-4 Pa,沉积污染采用QCM测量,QCM为单晶体5MHz QCM精度为1.78×10-8 g/(cm2·Hz),QCM安装位置为偏离推力器出口中心约80cm,面向舱体底部。更具体详细的实验条件可以参考文献[23],QCM测量沉积曲线如图4所示。离子推力器工作稳定,QCM的测量结果也以恒定的斜率沉积,从图可知光舱环境下的QCM沉积速率为1.76×10-10 g/(cm2·s)。表2给出了实验结果和计算结果的对比。