《表1 计算光舱工况背溅射输入条件》

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《防溅射靶对离子推力器背溅射沉积污染的影响》

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应用上文所述的计算模型，其中沉积系数k取0.7，计算形状采用圆柱形，舱体材料用Fe元素近似。方便与实验结果对比，计算目标沉积元实际上是测量返流沉积量的目标元（QCM）的位置，计算模型的输入条件如表1所示。计算得到QCM上的沉积率为1.98×10-10 g/（cm2·s）。