《表1 不同定量方法的混合比反演曲线》

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《基于紫外光谱的C_4F_7N/CO_2混合气体混合比检测》

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针对4%～10%混合比范围的C4F7N气体检测，采用3.1中各定量方法的拟合公式进行混合比反演，得到不同拟合方式下的混合比反演曲线如表1，由于采用面积A拟合效果不理想，受到其他吸收峰影响较大，因此在进行混合比反演时没有考虑面积A的拟合方式。其他3种拟合方式中，采用峰值进行混合比反演的效果相比其他两种较差，但R2也在0.99以上，采用面积B方式拟合的效果最好，R2达到了0.999 9，可以保证C4F7N/CO2混合气体中C4F7N的精确检测。