《表1 不同物理量用于AFM的反馈系统时对应的成像模式》

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《原子力显微镜的基本原理及应用》

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AFM的运行模式取决于在检测过程中实时测量并用于反馈的物理量。根据要测量的物理量的不同，AFM的运行模式可分为接触模式、轻敲模式、非接触模式、扭转共振模式、峰值力模式等，其与分别用于反馈的物理量如表1所列。