《表2 μ=15 s情况下的系统各项性能指标与分类》

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《基于捷径重试规则晶圆带式搬运系统性能优化》

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此处以搬运负荷的平均时间间隔为15 s，即μ=15 s为例进行分析，作在制品、捷径成本、平衡性的关系图，并对所得的pareto前沿上的解集进行K-means分类，可得到结果如表2及图5所示.在图5中散点图表现的是μ=15 s时的pareto前沿，而折线图则表现的是对应的捷径使用策略下的平衡性指标的变化情况，在折线图上用两种不同的图形（方形为类别1，圆形为类别2）标记了在K-means分类情况下不同类别的捷径策略对应的平衡性指标（此处将所得的解分为了两类，分别为{0 1 0 1 1 0 1 0 0 11 1 0 0 0 0}，{0 1 1 0 1 1 0 0 0 0 1 1 0 0 0 0}）.由图上可以看到，平衡性指标整体上的趋势与pareto前沿相似，但存在多个极大值与极小值点，而结合捷径分类情况可以看到，在极值点处拥有相似的捷径使用策略.在日常的生产过程中，搬运系统的平衡性是一个重要的指标，较好的平衡性能够最大化的利用整个搬运系统.所以在做捷径使用决策时可以更倾向于使用类型2的捷径策略.