《表1 NPN晶体管发射极尺寸》

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《发射极尺寸对双多晶自对准双极晶体管剂量率效应的影响》

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实验样品为模拟集成电路国家重点实验室提供的DPSA工艺制备的NPN双极性结型晶体管（Bipolar Junction Transistor，BJT），器件示意图以及器件发射极尺寸分别如图1和表1所示，两种发射极尺寸的NPN晶体管分别用T1和T2表示。