《表2 不同电子入射角的微型X射线管模拟结果》

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《微型X射线管最佳入射角及Be窗厚度的MC模拟》

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当电子束与靶材垂直时X射线强度最大，但分析精度、信噪比并不高。可以适当减小微型X射线管电子入射角θ从而做出改进，随着偏角α增加，分析精度在偏角α为50°出现极大值。信噪比持续增加，减少比例差值D在偏角α为50°之后增加速率减小，继续增大偏角并无太大意义，而且还将导致X射线强度大量减少。因此将传统电子入射角θ从90°改成40°，即提高了各项指标又保留了多数X射线。如表2所示，当改进型电子入射角为40°时，与传统结构相比，信噪比提高了4.84%，分析精度增加2.91%，在X射线能谱中，中低能部分减小了14.71%，而高能部分还保留89.65%，中低能比高能多减少4.36%。