《表1 C1s的X射线光电子能谱拟合结果》

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《基于X射线光电子能谱定量分析金刚石自支撑膜高温石墨化》

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由此可知，图4b所示的低结合能端的拟合峰并非sp2碳峰，而是表面与晶界sp3结构的综合贡献。通过三种组分（sp3、sp2和AC）的拟合，使热处理后的金刚石膜C1s能谱展现出良好的一致性。表1对比了两种拟合方式所得的参数的不同，列出了每个样品结合能峰位、半高宽、百分比含量的最终拟合结果。