《表1 2.85×1020n/cm2中子辐照的6H-SiC (0001) 晶面X线衍射谱分析数据》

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《中子辐照的6H-SiC单晶的退火回复特性》

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将晶体各个退火温度点的XRD测试数据进行分析，通过MDI Jade6.0XRD分析软件对得到的（0001）晶面衍射图谱进行峰形拟合，并扣除衍射双峰中的Kα2部分，同时控制拟合误差在10%以内，通过拟合得出各退火温度所对应的衍射峰值强度、晶面间距d、半峰宽（FWHM）等一系列数据，结果见表1.2.85×1020n/cm2中子辐照的6H-SiC辐照后（0001）晶面衍射峰强度、半高宽及晶面间距随退火温度的变化分别见图1，2，3.