《表1 低速运行速度回路控制器增益列表》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《提拉法生长晶体的超低速控制技术研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

根据晶体生长工艺要求，提拉系统长期运行在0~30 rad/min的低速范围，由于低速造成转速检测的延迟，速度越低，延迟越大，带给系统的超调量将更大。因此，必须通过增加阻尼比来降低超调量，而增加阻尼比需要通过降低控制器的增益来实现。由于系统长期工作在0~30 rad/min的低速范围内，固定增益的控制不能解决整个低速段的速度抖动等问题。因此，将低速范围分为10个低速区间，按照上述调节方法获得每个低速区间的PI控制参数，形成了低速范围的增益列表。低速运行速度回路控制器增益列表如表1所示。