《表2 所设计抛光机的抛光试验效果》

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《聚晶金刚石复合片高速、高效抛光机设计》

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注：陶瓷结合剂金刚石抛光轮为外购件。

所设计抛光机在郑州某公司进行了抛光试验。抛光前将复合片精研至0.15μm粗糙度、0.01mm平面度。表2所示为所设计抛光机的抛光试验效果。