《表1 使用校准波长计算的10个截面的粗糙度结果》

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《多波长表面形貌测量系统中波长校准方法》

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所得到的玻璃样板一段横截面如图9所示。通过标定，像素尺寸为0.364μm。取10个垂直于槽的横截面作为评估截面，使用λ2和校准后的λ1、λ3在取样长度（Lr=0.8mm）内对10个横截面的Ra计算的结果如表1所示。