《表1 不同a、b和c对已知高度平面的恢复结果对比 (单位:mm)》

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《一种提高相位-高度映射精度的标定方法》


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我们对参与标定的平面进行了1次到15次的测量,实验发现,测量次数越大,重建出给定高度平面的平均高度越接近真实的高度,而且平均绝对误差和均方根误差也越小,但我们发现在重复测量10次左右的时候,上述值的变化就不再明显,考虑到重复测量所需时间问题,本实验对参与标定的每个平面测量了11次,即得到了11组不同的a、b和c,然后代入式(7),得到实验所需的。为了验证本文所提测量方法的精确性和可重复性,测量了距离参考面1 mm、2.8mm、3.3 mm、7 mm、10 mm、17.7 mm等几个已知具体高度平面的相位分布,并通过式(8)来实现相位到高度的映射。其中1 mm、2.8mm、3.3mm、7 mm和10 mm这五个平面是在标定的最大范围内,而17.7 mm超过了最大的标定范围。我们用11组不同的a、b和c恢复上述的几个平面,以及用恢复上述平面。表1中列出了随意选出的三组(No.1,No.2和No.3)单次标定的a、b和c所恢复平面的平均高度havg和均方根误差(RMS)以及平均绝对误差(MAE),并列出了将这三组a、b和c恢复后的结果进行平均后得到的值(avg)以及本文所提方法所计算出的havg,RMS以及MAE。