《表1 不同结构和材料微靶出射光斑FWHM (μm)》

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《微靶型X射线管不同靶材出射光斑对比研究》

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结合图4～6，将每种材料的FWHM记录在表1中，随着微结构从圆柱、半球、锥体变化，出射光斑尺寸依次为平均180μm、163μm、153μm且逐渐减小。靶材料发生改变时虽然光斑尺寸没有发生数量级跳变，但尺寸依然不同，波动量达到圆柱δ=7μm、半球δ=4μm、锥体δ=5μm。