《表2 65Mn钢和304不锈钢的力学性能参数》

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《低压环境中材料的氢损伤测试技术》

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极紫外光刻机（EUVL）真空系统使用的结构材料众多，为探索验证以上氢损伤测试及评估方法，选择常发生氢脆的65Mn弹簧钢材料进行试验；同时选择通常不发生氢脆的304不锈钢作为对照组进行试验。表1和表2为两者的化学成分和常规力学性能参数。充氢试验前，试样需要磨削以保证表面光亮；充氢结束后立即进行氢含量测试；两种材料都采用0.5mol/L H2SO4+0.22g/L硫脲混合溶液作为电解液；试样断裂后，采用扫描电子显微镜观察断口形貌。