《表1 65Mn钢和304不锈钢的化学成分》
极紫外光刻机(EUVL)真空系统使用的结构材料众多,为探索验证以上氢损伤测试及评估方法,选择常发生氢脆的65Mn弹簧钢材料进行试验;同时选择通常不发生氢脆的304不锈钢作为对照组进行试验。表1和表2为两者的化学成分和常规力学性能参数。充氢试验前,试样需要磨削以保证表面光亮;充氢结束后立即进行氢含量测试;两种材料都采用0.5mol/L H2SO4+0.22g/L硫脲混合溶液作为电解液;试样断裂后,采用扫描电子显微镜观察断口形貌。
图表编号 | XD00220522800 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.09.15 |
作者 | 罗艳、吴晓斌、王宇、王魁波 |
绘制单位 | 中国科学院微电子研究所、中国科学院微电子研究所、中国科学院微电子研究所、中国科学院微电子研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |