《表1 电铸液主要成分及其含量》

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《波前传感器电铸镍层应力实时检测精度评估》

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采用无添加剂的电铸液进行电铸，配方如表1所示。采用可溶性纯镍为阳极材料，阴极基底厚度为0.523 mm，阴阳极间距为100 mm。电铸温度为19～21℃，电铸液p H值控制在4.2～4.5。采用辰华CHI660E电化学工作站作为电铸电源，输出恒定直流电流。图7为电铸应力检测区域示意图，电铸区域为20 mm×50 mm。横向剪切波前传感器检测直径为6 mm的圆形区域，其测量位置位于电铸区中心。