《表2 单电极参考单元的结构参数》

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《声表面波器件变频快速模拟方法》


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结合上述快速计算方法,利用HCT-FEM实现同步单端SAW谐振器的模拟与快速变频过程。谐振器的衬底材料设置为42?YX钽酸锂,其材料参数由Kovacs等[13]提出的方法计算获得。电极材料为金属铝,密度为2700 kg/m3,泊松比为0.35,杨氏模量为70×109Pa。单电极参考单元模型的结构参数如表2所示,其中IDT根数为121,左右反射栅为40根。