《表1 单根电极单元的几何结构参数》

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《声表面波器件变频快速模拟方法》

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IDT的指条间距决定了基片中激发出的声表面波波长，是SAW器件优化设计中的重要参数。在选定基片的压电材料以后，不同指条间距的IDT实现不同频率的声波谐振[12]。依据HCT-FEM的基本原理，首先建立如图2所示SAW器件的准三维单电极模型，并进行网格划分。其结构参数如表1所示。其中，λ为波长，其余参数均为λ的倍数。图2中顶端黄色区域表示金属电极，蓝色区域为压电基片，基片末端设置完美匹配层（Perfect matched layer，PML）。