《表2 焦耳电加热模型计算变量及边界条件》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《多晶硅还原炉高频交流电加热机制研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

采用COMSOL Multiphysics version 4.2计算硅棒的热电行为，材料选用多晶硅。网格化采用“精密”等级，主要指标为：最大网格元尺寸为7.95 cm，最小网格元为0.045 cm，最大网格元增长速率为1.3。计算中变量及边界条件的设定见表2。