《表6 凸台高0.29mm的金属膜孔径分布Tab.6 The pore size distribution of 0.29mm metal film》
图2为不同金属膜凸台高度的微孔雾化片谐振频率分布图。从图2可看出,雾化片的谐振频率随金属膜凸台高度的改变分成4个部分:1) 为金属膜凸台高度小于0.18 mm,雾化片的谐振频率始终保持在109~110kHz;2) 为金属膜凸台高度为0.18~0.19mm,微孔雾化片的谐振频率极速下降至约103kHz;3) 为金属膜凸台高度为>0.19~0.20 mm,微孔雾化片的谐振频率从103kHz快速升高至106~108kHz;4) 为金属膜凸台高度为>0.20~0.29 mm,微孔雾化片的谐振频率稳定在(107±1)kHz。这是因为随着金属膜不同高度凸台的压制,使金属膜中心位置发生了不同程度的形变,从而使金属膜本身的谐振频率发生改变。PZT陶瓷环在尺寸规格一定的情况下,不同个体的陶瓷环参数基本一致。当不同凸台高度的金属膜与陶瓷环组合在一起,金属膜的谐振频率和陶瓷环的谐振频率发生耦合,从而产生不同谐振频率的微孔雾化片。
图表编号 | XD0020851500 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.08.25 |
作者 | 孙文镇、周沁、赵婕、向超、宋海深、罗远汇 |
绘制单位 | 桂林电子科技大学材料科学与工程学院、桂林电子科技大学材料科学与工程学院、桂林电子科技大学材料科学与工程学院、桂林电子科技大学材料科学与工程学院、桂林电子科技大学材料科学与工程学院、科日压电器件有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |
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