《表5 凸台高0.27mm的金属膜孔径分布Tab.5 The pore size distribution of 0.27mm metal film》

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《金属膜凸台高度对微孔雾化器性能的影响》

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图2为不同金属膜凸台高度的微孔雾化片谐振频率分布图。从图2可看出，雾化片的谐振频率随金属膜凸台高度的改变分成4个部分:1) 为金属膜凸台高度小于0.18 mm，雾化片的谐振频率始终保持在109~110kHz；2) 为金属膜凸台高度为0.18~0.19mm，微孔雾化片的谐振频率极速下降至约103kHz；3) 为金属膜凸台高度为>0.19~0.20 mm，微孔雾化片的谐振频率从103kHz快速升高至106~108kHz；4) 为金属膜凸台高度为>0.20~0.29 mm，微孔雾化片的谐振频率稳定在（107±1）kHz。这是因为随着金属膜不同高度凸台的压制，使金属膜中心位置发生了不同程度的形变，从而使金属膜本身的谐振频率发生改变。PZT陶瓷环在尺寸规格一定的情况下，不同个体的陶瓷环参数基本一致。当不同凸台高度的金属膜与陶瓷环组合在一起，金属膜的谐振频率和陶瓷环的谐振频率发生耦合，从而产生不同谐振频率的微孔雾化片。