《表2 石墨舟运行次数对应镀膜颜色均匀性数据》

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《管式PECVD工艺对太阳电池镀膜颜色均匀性的影响研究》


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同上,实验继续选用正面PECVD进行实验,均选用卡点更换时间一致的石墨舟,参照组为运行38次的石墨舟,实验组1为运行1次的石墨舟,实验组2为运行79次的石墨舟,实验详细测试数据如下表2所示。