《表1 石墨舟卡点对应镀膜颜色均匀性数据》

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《管式PECVD工艺对太阳电池镀膜颜色均匀性的影响研究》


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实验选用正面PECVD进行实验,均选用新上线石墨舟,参照组为旧卡点石墨舟,实验组为新卡点石墨舟。实验详细测试数据如下表1所示。