《表1 干涉腔精细度测试结果》

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《基于Fabry-Perot光学干涉腔的真空计量装置研究进展》

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光学干涉腔的精细度是表征光学干涉腔损耗的本征物理性质，当腔体建立之后，其精细度也将成为一个固定值，决定光学干涉腔精细度的物理参数是干涉腔反射镜的反射率，精细度也进一步决定了激光频率锁频的灵敏度。为保证锁频精度及光腔损耗，对所建立压力测量装置中的光学干涉腔的精细度进行了测试。测试过程中，对腔体完成抽气后，测量超稳腔透射峰线宽νc及透射峰间距（自由光谱程）?νFSR，根据公式F=ΔνFSR/νc计算超稳腔精细度。重复5次以保证实验精度，测试结果如表1所列。