《表3 温度稳定性测试结果》

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《基于Fabry-Perot光学干涉腔的真空计量装置研究进展》

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腔体长度随温度变化的膨胀或收缩由腔体内部温度稳定性决定，因此，具有良好温度稳定性的腔体在进行气体压力测量时具备更大的优势。利用Pt100电阻丝对装置内部空间加热，并利用SRS温度监控模块对腔内温度进行实时监控。测试过程中，首先将腔体压力抽至10-5Pa以下，然后利用腔内温控装置使温度稳定后进行腔内温度测试，间隔10 min记录一次数据，测试结果如表3所列。测试点温度随时间的变化如图3所示。