《表1 SNAP PAC控制器部分输入输出表》

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《基于PLC的多晶硅铸锭炉控制系统的设计》

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数字量信号处理选用SNAP-I/O模块，PAC系统采用分布式构架，当I/O单元与主控制器通讯故障时，I/O单元仍能继续运行，从而保证了整个生产工艺的正常运行[9]。SNAP-IDC5为数字量输入模块，通过中间继电器反馈，检测电机运行及阀门开关等状态。SNAP-ODC5为数字量输出模块，经过与中间继电器连接，控制罗茨泵、机械泵启停和阀门、指示信号灯开关等。PAC控制器通过模拟量输入模块对温度、压力、气体流量、电源电压、电流等进行检测，同时通过模拟量输出模块及PID控制器对温度，压力进行闭环控制。如SNAP-AITM2模拟量输入模块通过接收热电偶采集的模拟量信号，计算转化成温度值后，由PID控制器计算将信号传送给模拟量输出模块SNAP-AOA输出4-20m A信号给可控硅电力控制器，调节输出电源大小，电源变化影响石墨加热器加热温度，从而控制炉内温度，实现闭环控制，温度闭环控制原理如图3所示，PAC控制器部分输入输出表如下表1所示。