《表3 不同入射角度下测量精度对比》

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《激光光栅干涉技术的微位移测量研究》

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当测量时间间隔、凹槽深度与衍射光强相等时，检测本文方法与大口径自适应镜面微位移测量方法（文献[8]方法）、可变相位延迟激光干涉式微位移测量方法（文献[9]方法）在不同激光入射角度下，微位移测量精度的变化情况，在此选取的激光入射角度为5°～90°，检验结果如表3所示。