《表5 滞后阶数判断结果：太阳能级多晶硅切割废料的酸洗除杂研究》

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《太阳能级多晶硅切割废料的酸洗除杂研究》

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影响CLW酸洗效果的因素主要有盐酸浓度、酸洗时间、酸洗温度、液固比（质量比）和有无搅拌等。搅拌可以使溶液发生对流，扩散层厚度减薄，使酸更容易与附着在晶体硅颗粒表面的杂质发生化学反应，因此搅拌速度可选为150 r/min。采用正交试验确定CLW酸洗除杂工艺的最适宜条件，因素和水平选取原则见表4，试验结果见表5。