《表2 激发电流大小对分析线强度的影响》

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《能谱定量分析的不确定度评估》

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为了考察由于电流大小引起的不确定度，在线性区间改变电流大小并使电子束处正焦状态，测量各元素分析线强度。将各谱线的强度换算为单位电流值计数率，计算不同电流下强度测量的标准偏差和相对标准偏差，结果如表2所示。