《表4 电子束焦距对分析线强度的影响》

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《能谱定量分析的不确定度评估》

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为了考察电子束焦距轻微变化引入的强度测量的不确定度，在放大倍数为700、样品处于正焦和欠、过焦（图像变得轻微模糊）下分别测量各元素分析线的强度（如表4所示）。按极差法（n=7，极差系数C=2.70）评定B类不确定度[9]。假设日常测量结果为3次平行测定值的平均值，依据计算标准不确定度，则由电子束焦距变化引起的Zr Lα、Ti Kα、Ni Kα和Cu Kα强度测量的相对标准不确定度urel(I4）分别为0.30%、0.27%、0.32%和0.18%