《表1 2 低沸塔塔顶气体检测数据(10-6)》

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《气相色谱法在六氟化硫制备中的应用》

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低沸塔的作用是将比SF6沸点低的物质与SF6分离，表12为各个气体厂家在连续多天内该处气体的检测情况。此位置基本为小分子气体杂质，其中分离后低沸塔塔顶的气体进入回收塔进行循环处理。