《表1 1 高沸塔塔釜气体检测数据(10-6)》

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塔釜中的主要组分是沸点比SF6高的重组分,表11为各个气体厂家在连续多天内该处气体的检测情况。此位置的杂质多为重物质,小分子气体不会存在。