《表8 低压吸附塔出口气体检测数据(10-6)》

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《气相色谱法在六氟化硫制备中的应用》

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低压吸附塔的作用是去除气体中的水分和酸性物质。表8为各个气体厂家在连续多天内该处气体的检测情况。出口处酸性物质（如SO2）的含量出现明显下降，大部分硫化物都被去除，但H2含量升高可能和反应产生H2有关。