《表7 低压吸附塔进口气体检测数据(10-6)》

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《气相色谱法在六氟化硫制备中的应用》

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气体在进入低压吸附塔前，已去除气体中大量的酸性物质。因此，气体的纯度已出现了显著的提高，从此处开始进入正式的精制阶段，可以采用GC-9760B直接对其进行检测。表7为各个气体厂家在连续多天内该处气体的检测情况。通过表7可以看出各大厂商的杂质趋势是一样的，相比于热解池出口，通过水洗碱洗后，杂质组分含量明显降低，但SF6样品中还有大量O2和N2，且有多种硫化物和低碳氟化合物的存在。