《表2 Δki的模糊推理规则》

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《基于模糊控制的HVPE生长设备温度控制系统》

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由Simulink仿真结果可知，相比于传统PID控制器，笔者设计的模糊自适应整定PID控制器的控制效果更好，能较好地满足系统要求，因此选定此方法来实现HVPE生长设备的温度控制。