《表5 高温氧化后的Ti Al ON涂层表面的归一化组成》

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《氧气流量对电弧离子镀TiAlON涂层结构和性能的影响》

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表5总结了高温氧化后的Ti Al ON涂层表面的归一化组成。在Ti Al ON涂层表面检测到C、Mn和Fe元素。在30 m L/min和60 m L/min的氧气流量下沉积的涂层表面主要富含Fe和O元素，基体元素（尤其是Fe）向涂层表面的扩散表明，该涂层在高温下对基材的保护作用有限。对于在90 m L/min和120 m L/min的氧气流量下沉积的涂层，涂层表面富含O、Al和Ti元素，这表明在高温氧化过程中，沉积的Ti Al ON涂层可为基体提供良好的保护。