《表1 材料的物性参数[12]》

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《蓝宝石-氮化镓异质膜系统界面应力的模拟研究》

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使用有限元分析软件ANSYS APDL对蓝宝石-氮化镓异质膜系统从生长温度（1373K）降至室温（300K）的冷却过程进行数值模拟。考虑到薄膜系统为圆柱轴对称系统，并假设系统材料为各向同性，所以选择二维轴对称模型，研究利用HVPE方法生长的2inch(1inch=2.54cm）及4inch GaN厚膜降温时的界面应力分布。只改变GaN膜厚（保持蓝宝石衬底厚度不变）和只改变蓝宝石衬底厚度（保持GaN膜厚不变），分别研究界面应力的变化情况。模拟采用的材料物性参数见表1[12]。