《表1 SRAM优化的实验分组设计》

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《利用halo注入倾斜角和栅极尺寸组合调整来提升SRAM性能》

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在本文研究中，我们设计了不同halo注入倾斜角度/剂量结合两种栅极尺寸的实验，用于寻找能增加SRAM beta比例值的合适制程条件。分组条件总结见表1。不同值的栅极尺寸通过光刻工艺调整来实现，最终得到增加2nm的栅极尺寸条件，当然，下拉管和控制管是同时增加2nm的。