《表2 H01L21/00大组在知识体系结构上的分类》

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《浅谈CPC在半导体制造与处理领域的检索应用》

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整个H01L21/00在CPC知识体系结构上主要分为5大部分，如表2所示；如果有必要，可以同时对专利文献涉及器件制造通用工艺、电极制造、设备、集成电路制造工艺等进行多重分类。