《表2 修正方法与O&P法结果对比》

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《中阶梯光栅厚铝膜硬度计算方法修正》

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根据前文纳米压痕得到数据及投影接触面积修正方法，重新对中阶梯光栅厚铝膜纳米压痕硬度进行计算，得到修正接触面积后新硬度值随压深变化规律曲线，与传统O&P法的计算结果进行对比分析（图6，表2），可直接获知，新的计算方法所得的硬度值比传统方法的结果减小40%左右。同时，随着压深的增大，中阶梯光栅厚铝膜硬度也随之增大。