《表1 O&P法试验数据与结果》

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《中阶梯光栅厚铝膜硬度计算方法修正》

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本文采用Agilent公司Nano Indenter 6200型纳米压痕仪，对试样进行压深为5μm的纳米压痕测试，得出的测试数据如表1所示，并且根据获得的压痕数据得到载荷位移曲线（图2）。采用德国Zessis公司Crossbeam550型扫描电镜对压痕点的样貌进行了观测（图3），采用BRUKER公司BRUKER Dimension Icon型原子力显微镜对压痕位置进行扫描，图像分辨率为256 PPI×256 PPI，扫描区域大小为100μm×100μm，扫描速率为0.5 Hz。得到了中阶梯光栅厚铝膜压深为5μm的AFM图像和截面图（图4）。