《表2 采用ZAF修正法和干扰峰校正法测量标准样品TiN元素含量的结果对比（质量分数）》

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《含钛高熵合金中氮元素的电子探针微区分析技术》

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采用ZAF修正法和干扰峰校正法测得的标准样品TiN元素含量的结果如表2所示。ZAF修正法测试标准样品TiN，其质量加和为103.734%，超出GB/T 15616—2008对相对准确度的要求。钛元素含量为77.271%，超出相对准确度值的0.120%；氮元素含量为26.463%，远超相对准确度允许范围，相对准确度值高达17%。干扰峰校正法测试标准样品TiN，钛元素含量为77.116%，氮元素含量为22.404%，总含量为99.520%，钛、氮含量测试相对准确度值均小于2%，其结果符合GB/T 15616—2008对相对准确度的要求[13]。