《表3 采用ZAF修正法和干扰峰校正法测得的TiCrMoNbW高熵合金黑色析出相成分（质量分数）》

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《含钛高熵合金中氮元素的电子探针微区分析技术》

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图2为TiCrMoNbW高熵合金黑色析出相背散射电子图像，可见析出相尺寸较小，弥散分布在高熵合金基体中，增加了高熵合金强度[14]。采用ZAF修正法和干扰峰校正法对该析出相的成分进行测试，结果如表3所示。可见ZAF修正法比干扰峰校正法测得的氮元素含量高，且总量超出了5.378%，超出相对准确度允许值。干扰峰校正法测得的总量为100.471%，结果在相对准确度值范围内，有效地排除了钛元素对氮元素的测量干扰，试验结果可信度较高[8]。